聚光科技半导体ICP-MS实现销售 全面布局半导体精密检测

11月26日，聚光科技在投资者互动平台中回复称，公司的半导体专用ICP-MS已实现销售，同时部分产品（科学仪器）正在集成电路制造头部企业测试中，尚未正式签署合同；公司研发的ICP-MS等高端质谱仪属于美国商务部对实体名单企业进行出口管制的设备。

聚光科技于2015年分拆自身质谱业务成立子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台，针对半导体行业检测需求，推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统，助力行业突破“卡脖子”关键技术。

布局半导体全产业链精密检测

半导体产品制造过程分为晶圆加工、氧化、光刻、刻蚀等八大步骤，涉及硅片、电子气体、光掩模、光刻胶配套化学品等多类制造材料。统计数据显示，半导体元件制造业中约50%的产率损失是由产品及材料制造流程中的微量杂质污染导致。

ITRS（国际半导体技术线路图）提出，在超纯水、电子化学品、电子特气、晶圆制造环境等各个环节，均需进行严格的环境污染管控及污染物检测；如何将污染降低到最小是半导体制程过程提升良率的难点。半导体器件生产过程中涉及的化学品种类繁多、测试元素种类众多且检测精度要求ppt量级，都对设备性能及操作人员的污染控制技术提出苛刻要求。另外，随着半导体器件的尺寸不断缩小、芯片中元件的密度不断增加，生产过程中的污染控制也愈发严格。

业内人士介绍称，ICP-MS技术尤其四极杆型ICP-MS技术具备极低的检测限和快速多元素测定功能，已逐渐成为半导体行业污染分析实验室的标准技术，在硅片表面杂质分析、超纯水、超纯试剂分析、高纯气体分析等多个方面应用广泛。目前，半导体行业所使用的ICP-MS基本被美国及日本厂商垄断。

公开资料显示，谱育科技深耕高端科学仪器创新，在高端质谱领域积累了离子阱、四极杆、三重四极杆、飞行时间等多个质谱分析技术平台。公司已建立半导体洁净实验室（100级），在2021年相继推出了冷模式ICPMS以及三重四极杆ICPMS/MS,两款设备可以实现亚ppt级别的超痕量金属检测，打破了海外厂商对超痕量金属测试设备的垄断。此外，公司针对14nm、28nm等高端制程半导体企业开发的实时监测系统得到了各级集成电路基金的支持，其中一部分产品已经完成研发，处于样板点建立阶段。

基于谱育科技的研发实力，聚光科技于2020年成立半导体事业部，整合自身质谱、光谱、色谱等高精密检测分析技术，以及各类进样技术和软件算法等综合能力，推出一系列解决方案，覆盖了痕量/超痕量金属污染检测、洁净室AMC在线监测、蚀刻剂近红外分析、特气监测与预警等半导体全产业链精密检测分析领域。

半导体设备国产化窗口期

据了解，半导体设备的产品研发及商业化流程分为可行性研究、产品开发及下线、客户端认证、量产及生命周期维护四个阶段。在客户端认证阶段，设备商需通过具体生产场景的技术验证，并与客户持续沟通、完善技术细节，之后设备供应商才会被纳入客户的合格供应商名单，整个验证周期消耗时间平均在1年以上。较长的生产及验证周期，也决定了半导体设备领域具有较强的客户粘性，非必要情况下，下游客户不会轻易更改产线设备。

据介绍，我国半导体行业配套的高端分析仪器市场长期被赛默飞、安捷伦、丹纳赫等美国厂商所垄断。数据显示，2020年中国质谱仪进口金额15.27亿元，占国内市场规模80%左右。

11月25日，美国商务部公告将12家中国企业加入实体清单，其中涉及半导体业务的企业有7家，包括国科微、新华三半导体等。据了解，被列入实体清单的企业未经美国商务部许可，不得自美国进口原材料及生产设备、无法利用美国研发成果或技术进行生产。中信证券分析称，此事件反映了芯片制造所需的设备、材料等多个细分领域仍存在“卡脖子”环节。行业重视程度提升，将倒逼半导体供应链本土化进程加速。

SIA数据显示，2021年9月中国半导体销售额167.2亿美元，同比增长24.3%，连续22个月同比正增长，增幅显著高于全球水平，全球市场占比达35.36%。据国泰君安分析，行业高景气的同时，产能持续紧张，中芯国际等龙头厂商纷纷加大资本开支启动新一轮扩产。在科技摩擦的背景下，国产设备导入机会提升，行业有望实现国产化产线整合。

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