在光刻机领域内,ASML的技术最先进,其研发制造的DUV光刻机和EUV光刻机几乎占领了中高端市场。
尤其是EUV光刻机,目前仅有ASML能够研发制造,由于其是生产制造7nm以下芯片的必要设备,所以该光刻机被制造出来后就供不应求。
据悉,ASML已经出货100余台EUV光刻机,但仍积压几十亿欧元的EUV光刻机订单,于是,ASML宣布提高产能,预计明后两年生产制造115台EUV光刻机。

虽然ASML是唯一能够生产制造EUV光刻机的厂商,但EUV光刻机在2019年就不能自由出货,除非是获得了许可。
3年来,ASML一直都在争取自由出货,高通拿到自由出货许可后,ASML也学习高通发出了警告,目的就是想实现EUV光刻机自由出货。
结果却不尽人意,ASML日前也表示,DUV光刻机正常出货,但EUV光刻机暂时无法自由出货。另外,EUV光刻机也无法出货安装到外企中国分厂。
不过,韩国芯片巨头SK明确表示,正在积极为中国厂商引进EUV光刻机,目前进展顺利,这意味着此事还是有希望的。
等不了了?ASML就新一代EUV光刻机亮明态度
但EUV光刻机迟迟无法自由出货,这让ASML等不了了,毕竟,ASML的营收主要都来自EUV光刻机,其单价是DUV光刻机的好几倍。
更何况,ASML还计划在2025年实现营收超300亿欧元,这意味着其必须依靠EUV光刻机获得更多营收,销售更多的EUV光刻机。
在这样的情况下,ASML就新一代EUV光刻机亮明了态度。
都知道,ASML正在研发全新一代EUV光刻机,其被命名为NA EUV光刻机,与现有的EUV光刻机相比,其NA值从0.33提升到0.55。
也就是说,ASML全新一代光刻机拥有更高的曝光度,可以生产制造更先进制程的芯片,甚至能够将芯片制程缩至1nm以下。
不仅如此,ASML全新一代光刻机拥有更高的NA值,其生产效率也将随着提升,单位时间量产的晶圆数量肯定要远超170片,而170片是现有EUV光刻机每小时的曝光量。
据悉,ASML原本计划在2024年左右交付全新一代EUV光刻机,如今,ASML亮明了态度,将全新一代EUV光刻机提前一年交付给厂商测试、研发,即2023年。
最主要的是,ASML方面传来的消息称,全新一代EUV光刻机的售价将会超过3亿美元,售价是现有EUV光刻机的3倍左右。
ASML此时透露全新一代EUV光刻机的交付测试时间和售价,相当于亮明了态度,EUV光刻机无法自由出货,就通过全新一代EUV光刻机获得更多的营收。
当然,即便是ASML如此涨价,其依旧不用担心全新一代EUV光刻机的销量。
因为目前只有ASML能够生产制造EUV光刻机,而全新一代EUV光刻机的技术更为先进,短时间内仍将是ASML独有的。
另外,全新一代EUV光刻机还没有上市,三星和英特尔都明确表达想优先获得该光刻机的意愿。
要知道,三星和英特尔都计划在2025年超越台积电成为第一,而全新一代EUV光刻机对英特尔和三星都十分重要,其自然会争相购买。
毕竟,全新一代EUV光刻机交付后,不仅能够提升3nm芯片的生产效率以及良品率,还能够用于生产制造GAA 工艺的3nm和2nm芯片。
最主要的是,台积电是目前先进制程芯片产能最大的厂商,英特尔和三星要想超越台积电,自然会需要更多全新一代EUV光刻机来提高产能。






