莱伯泰科发布ICP-MS/MS新品 产品已取得订单并实现发货

3月12日晚间，莱伯泰科（688056.SH）发布《关于自愿披露公司发布新产品的公告》，公司正式公开发布针对半导体行业研发生产的电感耦合等离子体三重四极杆质谱仪 LabMS 5000 ICP-MS/MS，且产品已取得订单并实现发货。

公司公众号信息显示，3月10日，莱伯泰科召开“致知力行 踵事增华--莱伯泰科半导体行业三重四极杆质谱新品发布会”。LabMS 5000 ICP-MS/MS主要针对半导体行业应用，可用于监控半导体硅材料、第三代半导体材料、湿电子化学品、电子特气、制程溶剂/光刻胶等的无机元素污染，已通过半导体行业SEMI S2、SEMI E78认证，助力半导体芯片企业制造商控制产品质量，提升良率。

2021年5月20日，莱伯泰科正式对外发布了电感耦合等离子体质谱仪LabMS 3000 ICP-MS，并在多个领域实现了产品销售，首次实现了国产 ICP-MS 在半导体行业芯片生产线上的应用，打破了国外产品的长期垄断。LabMS 5000 ICP-MS/MS 是在 LabMS 3000 ICP-MS 产品的基础上推出的全新一代三重四极杆质谱仪，主要用于无机元素检测。

LabMS 5000 ICP-MS/MS采用工业标准 27MHz 固态发生器，具有极高的系统稳定性；使用MS/MS 模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检出限和准确的超痕量分析结果；低背景惰性进样系统集成气体稀释和加氧功能，极大扩展检测应用范围；智能软件平台HiMass，适用于实验室的各种分析需求，极大提高工作效率。

当前国内半导体行业用于无机元素检测的三重四极杆质谱仪以进口产品为主，公司自主研发的该产品能够实现国产替代。LabMS5000 ICP-MS/MS产品的成功研发，体现了公司在高端科学仪器领域的自主研发创新能力，进一步丰富了公司分析测试仪器产品线，拓宽了公司产品的应用领域。本次新产品的发布，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力，对公司未来的发展将产生积极的影响。

截至公告日，LabMS 5000 ICP-MS/MS已取得订单并实现发货。

莱伯泰科董事长胡克博士在发布会致辞中表示，莱伯泰科能在两年内连续发布两款ICP-MS，除了感谢公司的质谱团队外，还要特别感谢半导体行业的多家企业，他们的支持、鼓励和期待，促进了莱伯泰科在三年多的时间内连续开发出单四极杆和三重四极杆两种等离子体质谱仪的决心和信心，感谢他们给予莱伯泰科的信任和认可。未来，除了半导体专用型号外，莱伯泰科还将针对更多的行业领域开发更多的通用或专用型号产品，同时在产品的多样性、好用、易用、耐用上下功夫，在售后和服务上下功夫，打造中国用户可以完全信赖的产品，希望未来莱伯泰科的质谱仪能够在市场中占据一席之地。

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