中微半导体设备公司董事长 尹志尧
二十年前，中微公司从一张白纸开始决心研发高端半导体设备，实现了从一到十的进展。展望下一个二十年，我们要实现十到一百的跨越。
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突破卡脖子，打造“国之重器”是条艰难的道路，尹志尧走的就是这条路。
半导体是中国最薄弱但最重要的产业之一，半导体关键设备则是半导体发展的基础。半导体设备最关键的三种分别是：光刻机、刻蚀机、薄膜机。
尹志尧，这位年逾古稀的科学家，用二十年的坚持，让中微公司的刻蚀机技术从零开始，发展到如今可以与国际巨头分庭抗礼。
过去二十年，中微公司也只做了一件事：让刻蚀机自主可控。
01
天才回国
为国家造出刻蚀机
尹志尧1944年出生于北京的一个爱国世家。良好的家庭环境赋予了他深厚的家国情怀和对科学的浓厚兴趣。
从中国科技大学化学物理系毕业后，他后前往加利福尼亚大学洛杉矶分校留学，获得物理化学博士学位。
他先后在美国英特尔、AMAT公司、LAM公司等行业巨头任职，成为了半导体设备领域的顶尖专家。
可以说，这时的尹志尧已经成了颇负盛名的华人。
打动他从美返中的，是时任上海经委副主任江上舟，也是他北京四中的校友。
一个国际半导体设备展上，江上舟在看了美国AMAT的刻蚀设备后，问尹志尧：“看来刻蚀机比原子弹还复杂，外国人用它来卡我们的脖子，我们能不能自己把它造出来？”
看到尹志尧有些犹豫，江上舟又说：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧！”
于是，2004年，已至花甲之年的尹志尧放弃了硅谷的优厚待遇，怀揣着“为中国半导体设备产业崛起贡献力量”的梦想，带着15位志同道合的伙伴回到上海浦东金桥，创立了中微半导体设备公司，瞄准高端半导体刻蚀设备的研发。
“我给美国也做了相当多的贡献了，已经够了。但是我缺的一点就是，我没有回报我的国家。”尹志尧说.
“给外国人做了这么多年嫁衣，是时候给祖国和人民做点贡献了。”
02
直面危机
半导体市场崭露头角
公司创立初期，资金成了第一个难题。仅靠政府5000万元人民币的启动资金和自筹的150万美元，对于需要大量资金投入的半导体设备研发来说，无疑是杯水车薪。
但尹志尧没有退缩，他凭借自己在行业内的声誉和对项目的信心，四处奔走，积极与国内外风投机构沟通。
他向投资者们详细阐述中微公司的技术优势和发展前景，最终成功获得了超过预期的融资，为公司的发展注入了宝贵的资金血液。
2004年，第一款刻蚀机的设计虽已完成，但量产却困难重重。由于中微刻蚀机采用了创新的双反应台设计以提高刻蚀效率，需要对零部件进行重新设计，然而却找不到合适的零部件供应商。
一方面，供应商与国际设备生产商紧密绑定，形成了坚固的合作壁垒；另一方面，供应商为新客户定制零部件的意愿极低，因为半导体设备市场高度集中，供应商的利益与现有大客户深度捆绑。
为了解决这一问题，尹志尧带领团队自主研发关键零部件，与国内供应商合作，共同探索技术突破，逐步提高零部件的国产化率。
为了实现真正的自主可控，中微公司用了近二十年，将核心零部件的国产化率从零提升到90%。到了去年第三季度末，这个数字达到100%。
2007年，中微公司的首台CCP刻蚀设备研制成功并交付国内客户，中微公司成功在国内半导体市场崭露头角。
03
多事之秋
老东家不满
商场如战场，尹志尧动了刻蚀机这块“大蛋糕”，自然有人不满。
2007年10月，老东家AMAT在美国法院以商业秘密侵权为由起诉中微及尹志尧等人。
AMAT认为，一定是从AMAT来到中微的人盗用了该公司的技术，毕竟尹志尧曾经在AMAT从事技术研发，中微公司展露出来的也是熟悉AMAT的技术。
对尹志尧而言，这场诉讼不仅关乎公司的经济利益，更关乎中国半导体企业的声誉和未来。
他聘用美国一流的律师团队，支付了高达2500万美元的律师费用，花费大量时间彻查600万件内部文件。历时2年半，中微公司证明了自己的清白，与AMAT达成和解。
然而，上一个缠人的“麻烦”才解决，下一个又来了。
2009年，尹志尧的另一个前东家LAM也对中微提出侵权诉讼，而且时机恰好选在中微公司设备刚要进驻中国台湾之前。
而这次的官司花了整整七年，期间中微公司不仅要应对法律诉讼，还要承受市场拓展受阻的压力。
但尹志尧始终鼓励团队：“我们的技术是自主研发的，只要我们坚持下去，就一定能赢得胜利。”
结果是好的，中微公司不仅赢得了官司，还向台湾智慧财产局提出了对LAM专利的无效申请，并获得支持，成功打破了竞争对手的封锁，为公司在国际市场上赢得了宝贵的发展空间。
毕竟在此之前，半导体刻蚀机市场长期被LAM、TEL、AMAT等国际大厂垄断，中微公司作为后来者，要在技术和市场份额上实现突破，难度超乎想象。
此后，中微公司又率先提出“皮米级”加工精度概念，其刻蚀精度达到100“皮米”以下水平，相当于头发丝350万分之一的精准度。
凭借卓越的技术性能，中微公司的产品逐渐获得了市场的认可，客户涵盖了台积电、SK海力士、联电、中芯国际和长江存储等国内外知名企业。
04
下一个二十年
十到一百的跨越
在国内半导体行业人才竞争激烈的环境下，尹志尧推行了“全员持股”的激励模式，寻找更多人才。他认为：“真正的社会主义制度是让资本、劳动和智力都能创造价值。”
在中微，每个级别的股权差20%，工资差10%，形成了扁平化的分配体系。公司上市后，一半员工身家超过千万，包括司机和门卫。
近年来，国际形势复杂多变，半导体行业成为国际竞争的焦点，中微公司面临着越来越严峻的技术封锁和外部环境压力。
但尹志尧没有被困难吓倒，反而是带领中微公司加大自主研发力度，提高核心零部件的自主可控率。
尹志尧曾说：“在国内外竞争越来越激烈的情况下，我们没有别的选择，一定要有自主可控、自立自强的精神，使我们国产设备尽快达到国际先进水平，甚至在部分领域超过国际先进水平。”
而今天全球一流的芯片生产线上，已有600多个反应台用的全是中微的双台机。
“中国半导体设备有望在5-10年内达到国际最先进水平。”
在尹志尧的带领下，中微公司不断壮大。从2007年首台刻蚀设备交付，到2024年累计已有超5000个反应台在国内外130多条生产线实现量产和大规模重复性销售，中微公司早已蜕变。
在中微公司20周年庆典上，尹志尧说：“二十年前，中微公司从一张白纸开始决心研发高端半导体设备，过往的二十年，中微公司实现了从一到十的进展。展望下一个二十年，我们要实现十到一百的跨越。”
尹志尧的心态，依旧没变。