金融界2025年4月9日消息，国家知识产权局信息显示，安徽万瑞冷电科技有限公司申请一项名为“半导体设备用高纯度氦气管路气体抽空置换方法及系统”的专利，公开号 CN 119778926 A，申请日期为 2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体设备用高纯度氦气管路气体抽空置换方法及抽空置换系统，通过干式抽空泵对待纯化氦气管路进行抽空至第一预设值，然后将高纯氮气充入待纯化氦气管路中升压至第二预设值；再次通过干式抽空泵对待纯化氦气管路进行抽空至第一预设值；利用低温泵单元对待纯化氦气管路进行进一步抽空，使得氦气管路处于高真空状态；向氦气管路内通入高纯氦气，直至要求气压。采用低温泵单元，辅以干式抽空泵配合，大大提高极限真空度，通过对氦气管路进行反复充氮和抽空，实现抽空流洗，极大的节省氦气消耗，具有操作简便，生产效率高的效果。
天眼查资料显示，安徽万瑞冷电科技有限公司，成立于2003年，位于合肥市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本1782.642万人民币，实缴资本1782.642万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽万瑞冷电科技有限公司参与招投标项目393次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息278条，此外企业还拥有行政许可12个。