金融界2025年7月25日消息，国家知识产权局信息显示，江苏神州半导体科技有限公司申请一项名为“一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法”的专利，公开号CN120376394A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明属于远程等离子体源技术领域，提供了一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法，包括：将经过表面预处理的铝材进行高温水蒸气封孔处理；切削加工去除表面的水铝石层；对解离腔体进行混合气体钝化并循环预设次数，混合气体钝化包括预钝化、水合钝化和协同钝化。本发明首先对氧化层进行高温水蒸气封孔，然后对表面水铝石层进行切削，增加表面活性位点数量利于OH键吸附；之后进行预钝化、水合钝化和协同钝化并循环预设次数，保证OH键的稳定性，提升RPS腔体的使用寿命；利用随机森林算法确定混合气体比例，通过影响氧化膜层表面OH键覆盖密度，降低RPS功率运行窗口下限，满足FCVD工艺的沉积速率需求。
天眼查资料显示，江苏神州半导体科技有限公司，成立于2016年，位于扬州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2345.679万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏神州半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息128条，此外企业还拥有行政许可23个。