证券之星消息,根据天眼查APP数据显示有研硅(688432)新获得一项发明专利授权,专利名为“直拉法制备超高电阻率硅衬底的方法”,专利申请号为CN202211727056.8,授权日为2026年8月28日。
专利摘要:本发明公开了一种直拉法制备超高电阻率硅衬底的方法,该方法的工艺流程为:直拉法制备硅单晶→单晶棒滚磨→多线切割→边缘倒角→双面研磨→化学腐蚀→热处理→化学机械抛光;其中,在所述直拉法制备硅单晶的工序中,单晶生长过程中使用水平超导磁场,磁场强度为1000‑5000高斯,同时,采用特定的晶体转速和坩埚转速相配合,晶体转速为1‑12rpm,坩埚转速为0.1‑2rpm;在所述热处理工序为POLY+LTO薄膜生长;或者为高温退火。该方法适用于制备直径在8英寸及以上、电阻率在3000Ω·cm以上、氧含量在5ppma以下的P型硅衬底。所制备的单晶氧含量低于5ppma,退火后电阻率能够达到3000Ω·cm以上,并且氧含量均匀性小于10%,电阻率均匀性小于5%。
今年以来有研硅新获得专利授权6个,较去年同期增加了500%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4344.8万元,同比减1.74%。
通过天眼查大数据分析,有研半导体硅材料股份公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目62次;财产线索方面有专利信息352条;此外企业还拥有行政许可74个。
数据来源:天眼查APP
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