证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拉普拉斯(688726)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“工艺炉及工艺设备”,专利申请号为CN202522101327.4,授权日为2026年8月28日。
专利摘要:本公开涉及半导体和光伏技术领域,尤其涉及一种工艺炉及工艺设备,解决相关技术中由于工艺炉功能单一使得片材需要转运到不同的工艺炉中进行不同工艺处理而导致工艺效率较低的问题。该工艺炉包括炉体、匀流组件、电极组件和控制组件,炉体具有炉腔,匀流组件绝缘连接于炉腔内,匀流组件将炉腔分隔成工艺腔室和匀流腔室,电极组件与匀流组件导电连接,控制组件与电极组件电连接,控制组件被配置为控制电极组件与射频电源电连接,以使工艺炉进入等离子体反应模式,或者控制电极组件与射频电源断开电连接,以使工艺炉进入普通反应模式。本公开提供的工艺炉及工艺设备,能够通过工艺炉完成多种工艺处理,提高了工艺效率。
今年以来拉普拉斯新获得专利授权90个,较去年同期减少了25%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.64亿元,同比增1.77%。
通过天眼查大数据分析,拉普拉斯新能源科技股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目59次;财产线索方面有商标信息145条,专利信息859条,著作权信息15条;此外企业还拥有行政许可65个。
数据来源:天眼查APP
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