证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及使用方法”，专利申请号为CN202211227972.5，授权日为2026年9月8日。
专利摘要：本发明公开一种等离子体处理装置及使用方法，所述等离子体处理装置包括：反应腔；基座，其设置于所述反应腔内部，用于承载基片；喷淋头，与所述基座相对设置于所述反应腔内部，用于向所述基座和所述喷淋头之间的反应区域通入工艺气体，以形成等离子体；移动环，其可在高位和低位之间升降，且在所述低位时，所述移动环围绕所述反应区域设置；以及磁场发生装置，其设置于所述移动环上且随所述移动环升降，所述移动环在所述低位时，所述磁场发生装置围绕所述反应区域。本发明中通过磁场发生装置在反应区域内产生第一磁场，可以改变等离子体刻蚀的方向和速率，且使反应区域内等离子体密度分布可以灵活调节，从而保证基片的刻蚀均匀性。
今年以来中微公司新获得专利授权116个，与去年同期持平。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目92次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1745条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。
数据来源：天眼查APP
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