证券之星消息,根据天眼查APP数据显示兴福电子(688545)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种HfO2/IGZO高选比蚀刻液及其制备方法与应用”,专利申请号为CN202411636330.X,授权日为2026年9月4日。
专利摘要:本发明提供一种HfO2/IGZO高选比蚀刻液,所述高选比蚀刻液由氢氟酸1~10%,有机酸10~50%,螯合剂0.5~5%,阳离子表面活性剂0.01~0.5%,余量为水。其中有机酸可有效减少体系中F‑含量,抑制IGZO的蚀刻速率,从而提高蚀刻液对HfO2的选择性蚀刻。螯合剂可与有机酸作为协同酸体系,进一步提高Hf4+的溶解能力。本发明所诉的高选比蚀刻液HfO2/IGZO选择比均超过最高到达4.1,HfO2蚀刻速率可达11Å/s。
今年以来兴福电子新获得专利授权62个,较去年同期增加了113.79%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4218.31万元,同比增7.51%。
通过天眼查大数据分析,湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目263次;财产线索方面有商标信息7条,专利信息549条,著作权信息6条;此外企业还拥有行政许可290个。
数据来源:天眼查APP
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