证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件的制备方法及MEMS器件”，专利申请号为CN202610923173.3，授权日为2026年9月11日。
专利摘要：本申请公开了一种MEMS器件的制备方法及MEMS器件。其中MEMS器件的制备方法包括：提供第一结构层，并在第一结构层上形成第一牺牲层；在第一牺牲层上形成第二结构层中的主体结构层，其中主体结构层上形成有第一开口；在主体结构层上形成第二结构层中的辅助结构层；其中，辅助结构层至少覆盖第一开口，且辅助结构层与主体结构层在至少一个第一区域处接触连接，在至少一个第二区域处彼此分离以形成横向间隙，横向间隙与第一开口连通以形成释放通道，基于释放通道在第一牺牲层中形成空腔结构，第一开口和横向间隙与空腔结构连通。通过本申请的方案，可以基于易实施且稳定性强的工艺制备出高良品率的MEMS器件。
今年以来敏芯股份新获得专利授权20个，较去年同期减少了39.39%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3863.73万元，同比增0.02%。
通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目27次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息524条，著作权信息5条；此外企业还拥有行政许可16个。
数据来源：天眼查APP
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