证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS传感器及其制备方法”，专利申请号为CN202610756378.7，授权日为2026年9月11日。
专利摘要：本申请公开了一种MEMS传感器及其制备方法。所述MEMS传感器包括：衬底；位于所述衬底上的敏感结构，所述敏感结构与所述衬底之间包括第一腔室空间；位于所述敏感结构上的芯片盖帽，所述敏感结构与所述芯片盖帽之间包括第二腔室空间；其中，所述芯片盖帽上包括第一微通道和第二微通道，所述第一微通道贯穿所述芯片盖帽并通至所述第二腔室空间；所述第二微通道贯穿所述芯片盖帽以及所述敏感结构并通至所述第一腔室空间。通过实施本申请，改善了单个微通道结构在敏感结构背面涂覆较差的问题。
今年以来敏芯股份新获得专利授权21个，较去年同期减少了36.36%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3863.73万元，同比增0.02%。
通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目27次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息524条，著作权信息5条；此外企业还拥有行政许可16个。
数据来源：天眼查APP
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