9月15日，截至10:20，半导体材料设备指数上涨4.72%。个股方面，华海清科涨超11%，长川科技涨超6%，拓荆科技、芯源微等涨超5%，华峰测控、中科飞测、江丰电子、北方华创等涨超4%，中微公司、安集科技等涨超3%。
消息面上，9月15日，工业和信息化部、国家发展改革委联合印发《电子信息制造业发展“十五五”规划》，提出到2030年，我国电子信息制造业规模以上企业营业收入突破30万亿元，在集成电路等领域涌现一批长板技术和产品，产业研发投入强度达到3.5%。AI算力需求正向半导体设备、材料等产业链环节传导，全球半导体营收第二季度突破4250亿美元。9月14日，粤芯半导体创业板IPO注册获中国证监会同意；聚和材料公告拟以3亿元入伙重点布局半导体材料领域的国聚同辉，本次关联交易尚需股东会审议；戈碧迦开发的半导体领域玻璃载板已实现量产，相关产品通过部分下游知名厂商验证；新莱应材回应称公司半导体真空系统、气体系统可服务泛半导体设备供应商与终端制造商，与核心客户合作情况稳定。9月11日，台积电公布8月合并营收同比增长53.3%，先进制程持续满载，市场对其2026年资本开支预期抬升至600亿至640亿美元。9月10日，科创板半导体制造、设备及材料行业半年度集体业绩会释放信号，半导体设备端受益国内晶圆厂产能释放与技术验证突破，订单进入大规模交付期，海外订单外溢带动本土产业链增长。
爱建证券分析指出，AI服务器产业链景气正向上游关键物料与设备传导，8月中国台湾AI服务器整机出货明显提速，AI服务器需求仍处于向上阶段。
半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪半导体材料设备（931743.CSI），该指数由40只业务涉及半导体材料、半导体生产设备的公司股票组成，半导体设备、半导体材料行业合计占比超85%，聚焦半导体产业核心配套环节。
该ETF另有联接基金为（021893、021894）覆盖场外渠道。
统计显示，易方达旗下既有聚焦上游材料设备环节的半导体设备ETF易方达（159558），布局中游芯片设计环节的科创芯片设计ETF易方达（589030），也有覆盖半导体全产业链的芯片ETF易方达(516350)以及科创芯片ETF易方达（589130）。
风险提示：基金有风险，投资须谨慎。ETF为场内交易型指数基金，二级市场价格存在折溢价与流动性风险，基金表现与跟踪指数可能存在跟踪误差，过往业绩不代表未来收益。