9月16日，截至09:47，半导体材料设备指数上涨1.24%。个股方面，中科飞测涨超3%，拓荆科技、芯源微、华海清科等涨超2%，中微公司涨超1%，江丰电子、盛美上海等上涨。
消息面上，9月15日，工业和信息化部、国家发展改革委联合印发《电子信息制造业发展“十五五”规划》，提出到2030年我国电子信息制造业规模以上企业营业收入突破30万亿元，在集成电路等领域涌现一批长板技术和产品，产业研发投入强度达到3.5%，明确促进电子元器件和电子材料高端化发展，为半导体设备国产化路径提供中长期方向指引。同日，阿斯麦管理层表示将把2028年EUV光刻机生产目标提升至超110台，2027年光刻机产能已全部售罄；台积电将2026年全年资本支出上调至600亿至640亿美元，较此前预估上调80亿美元，幅度约15%。SEMI预计2026年全球半导体制造设备销售额将创1659亿美元的历史新高，同比增长23.2%，增长势头预计持续至2028年。同日，康达新材联合合作方成立半导体科技公司，经营范围覆盖半导体器件专用设备制造；矩子科技回应称，公司控制线缆组件已应用于刻蚀、光刻等半导体设备，半导体AOI已在部分应用场景实现规模化应用；北方华创申请相关半导体工艺设备专利，可简化设备维护流程。9月10日，科创板半导体制造、设备及材料行业半年度集体业绩说明会召开，释放信号显示半导体设备端受益于国内晶圆厂产能释放与技术验证突破，订单已进入大规模交付期。
国金证券指出，“十五五”规划落地叠加全球半导体设备销售额创新高，AI算力需求向设备与材料环节传导，半导体材料设备国产替代加速。国信证券指出，看好半导体设备中低国产化率的环节，部分环节的国内龙头正迎来客户导入、订单放量与份额提升的关键窗口。
半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪半导体材料设备（931743.CSI），该指数由40只业务涉及半导体材料、半导体生产设备的公司股票组成，半导体设备、半导体材料行业合计占比超85%，聚焦半导体产业核心配套环节。
该ETF另有联接基金为（021893、021894）覆盖场外渠道。
统计显示，易方达旗下既有聚焦上游材料设备环节的半导体设备ETF易方达（159558），布局中游芯片设计环节的科创芯片设计ETF易方达（589030），也有覆盖半导体全产业链的芯片ETF易方达(516350)以及科创芯片ETF易方达（589130）。
风险提示：基金有风险，投资须谨慎。ETF为场内交易型指数基金，二级市场价格存在折溢价与流动性风险，基金表现与跟踪指数可能存在跟踪误差，过往业绩不代表未来收益。