恒运昌：新一代等离子体射频电源系统部分机型已小批量试产

9月16日，在半年度业绩会上，恒运昌董事长、总经理乐卫平介绍，截至2026年半年度，公司新一代等离子体射频电源系统Cedar系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，产品可支撑5纳米及以下更先进制程，已处于部分机型小批量试产阶段。公司将持续推进该系列产品的验证。