【CNMO科技消息】近日,据外媒报道,三星电子已在半导体部门内部成立了一支专注于“晶圆厂机器人”研发的专职团队——AX/PI团队,标志着三星正式将机器人技术系统性引入半导体制造环节。

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根据报道,三星电子于9月1日在设备解决方案(DS)部门旗下的全球制造与基础设施总管下,新设了“AX/PI团队”。其中,AX代表“AI转型”(AI Transformation),PI代表“流程创新”(Process Innovation),该团队的核心职责是晶圆厂自动化机器人的开发与导入。
新团队的人员构成以原设备技术研究所的研究人员为主。该研究所曾负责设备与零部件的国产化及自动化研究,但2024年组织调整后被缩减,硕士及博士级研发人员分散至各制程技术组织。三星将这批研究人员重新集结,于2025年底先行组建了任务小组(TF),至2026年9月正式升格为常设组织。

三星电子泰勒晶圆厂
AX/PI团队首个重点研发方向是设备维护(PM,预防性维护) ——目前这一工作主要由合作厂商的现场工程师负责。业内人士推测,三星正在开发的机器人形态可能与泛林研究(Lam Research)于2024年发布的设备维护协作机器人“Dextro” 类似。
Dextro能够执行消耗品安装、螺栓紧固、部件清洗等精密重复性操作,可有效提升制程稳定性和良率。对三星而言,用机器人替代人工进行这类维护作业,不仅能降低人力依赖,还能减少因人为操作波动带来的良率损失。

三星电子员工
目前,三星的机器人开发仍处于早期阶段。团队正在收集晶圆厂数据,研究机器人的运动路径、作业区域以及零部件存储规格。由于每台设备的部件位置和维护方式各不相同,在部署机器人之前,需要首先对作业流程进行标准化。有业内人士指出,晶圆厂的动线、设备和作业环境都是相对固定的,因此相比在非结构化环境中运行的通用人形机器人,晶圆厂自动化机器人的落地速度可能更快。


